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超精密加工設備

實驗室設有先進的超精密加工設備，專為打造出納米級表面粗糙度及亞微米級形狀精度的優質光學表面，無需任何後加工處理。

Zeeko 200

大型七軸超精密拋光設備
– Zeeko IRP 200

Precitech 705G

大型五軸超精密加工設備
– Precitech Freeform 705G

Toshiba

五軸高精度機床
– Toshiba UVM-450C(V2)

Moore_450UPL

大型四軸超精密研磨設備
– Moore Nanotech 450UPL

Moore_350FG

大型四軸超精密加工設備
(具有快刀和慢刀加工伺服功能)
– Moore Nanotech 350FG

Nanoform 200

兩軸超精密加工設備
– Nanoform 200

Nanoform 300

兩軸超精密加工設備
– Nanoform 300

Son-x

超聲波加工裝置
– Son-x UTS2

MicroLam

激光輔助超精密加工設備
– Micro-lam Optimus T2

Optoform 30

兩軸超精密加工設備
– Optoform 30

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