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讲者(Speaker): 徐 敏教授 (Prof. Xu Min)

日期 (Date): 2018年7月27日, 星期五 (27 July 2018, Friday)

时间(Time): 早上10点至11点 (10:00am-11:00am)

地点(Venue): EF619

语言(Language): 普通话 (Mandarin)


简歴(Biography):

徐敏教授于1997年获得浙江大学现代光学检测技术博士学位。现为复旦大学博士生导师,上海超精密光学制造技术工程研究中心主任。2010年获得中国“千人计划”特聘专家。是SPIE和OSA会员,中国光学工程学会常务理事,中国光学学会制造专委会副主任委员,中国物理工程研究院超精密制造技术工程中心技术委员,中国科学院上海光学精密机械研究所客座研究员,“极端制造”期刊编委。徐敏的专业研究领域是现代光学设计、现代光学智能制造与检测,热成像技术。是国家02专项项目“IC装备超精密光学零部件制造技术与平台研究”首席科学家。先后负责承担国加及省部级项目12项。发表学术文章96篇,获得专利22项以及学术特约报告26次。

报告摘要(Abstract):

光刻机晶元工件台和掩模台中的方镜是典型的硬脆材料功能结构光学零部件,不同于常规的光学零部件和光学自由曲面组件,方镜是属于既有机械功能结构又有超精密光学面复杂件,课题组通过承担国家大规模集成电路制造装备专项课题,研究了方镜的超精密制造技术与检测方法。对此报告将针对方镜制造与检测的一些难点突破做简要介绍。同时介绍复旦大学上海超精密光学制造技术工程研究中心以及与香港理工大学超精密制造技术国家实验室合作意向。

如有任何疑问, 请联络何丽婷博士。电话: 2766 6574, 电邮: mflesley@polyu.edu.hk